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真空加熱系統(tǒng)
一些對(duì)空氣敏感、熱穩(wěn)定性較差的材料需要在真空、純凈的箱體環(huán)境中進(jìn)行干燥處理，用于去除器件內(nèi)部基板表面的水或溶劑，或在特定溫度條件下對(duì)敏感材料進(jìn)行干燥/固化，真空加熱系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這些功能的最為經(jīng)濟(jì)有效的一款產(chǎn)品，最高溫度可達(dá)到180°C。
- 系統(tǒng)組成
- 主要技術(shù)參數(shù)
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該系統(tǒng)由渦旋干式真空泵、電磁閥以及真空壓力表(或高溫壓力變送器)、加熱烘箱、附屬管道等組成。
★ 渦旋干式真空泵是一種無油容積式機(jī)械真空泵，具有結(jié)構(gòu)簡單，容積利用系數(shù)大，壓縮比大，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較穩(wěn)定的抽速，真空度高，驅(qū)動(dòng)力矩小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，性高等。
★ 加熱烘箱功能與結(jié)構(gòu)簡述
烘箱作用是為了清除物料內(nèi)部的水分?？蛻艨蛇x擇大、小兩種不同容積的烘箱。
為了保證內(nèi)、外兩側(cè)門的密封性，密封門采用線接觸(氟橡膠密封圈)的方式密封，外側(cè)門為手動(dòng)打開式，內(nèi)側(cè)門有推拉和升降兩種型式。
箱內(nèi)可同時(shí)烘烤2摞料盤，烘烤溫度最高可達(dá)180℃。
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